码盘制造工艺

一片玻璃码盘的诞生:从玻璃到成品

一片玻璃码盘的诞生:从玻璃到成品

一片玻璃码盘要经过清洗、镀铬、涂胶、曝光、显影、蚀刻、去胶、切割、磨边、检测、包装等十几道工序。本文把整条流程走一遍,说清楚每一步解决什么问题,做不好会给码盘留下什么隐患。

拿到一片玻璃码盘,看上去只是一片薄玻璃上印了一圈黑线。可这一圈线可能有几千条,每条只有几十微米甚至几微米宽,还要边缘整齐、遮光彻底、和中心孔同心。这样的东西不是“印”一下就成的,而是十几道工序一步一步做出来的。

玻璃码盘的 13 道工序依次点亮,右侧截面同步显示每一步之后基板上多了什么、少了什么
图1 玻璃码盘的 13 道工序依次点亮,右侧截面同步显示每一步之后基板上多了什么、少了什么

三个阶段:做膜、做图形、做外形

把整条流程拆开看,其实只有三件事(见图1):

  1. 做膜:把玻璃洗干净,镀上一层铬。
  2. 做图形:用光刻把刻线“复印”到铬膜上,多余的铬溶掉。
  3. 做外形并出厂:切出外圆和内孔,磨边,检测,清洗,包装。

下面按这个顺序走一遍。

第一阶段:干净的玻璃加一层铬

清洗是第一步,也是最容易被小看的一步。玻璃表面哪怕留一点油膜或一个微小颗粒,铬膜在那里就附着不牢,或者留下一个针孔。

镀铬在真空里进行,常用溅射或蒸镀。铬膜厚度一般在 0.1 μm 左右,只有头发丝直径的几百分之一,但已经能把光挡得很彻底。码盘上“黑”的部分,就是这层铬。

第二阶段:用光刻把图形复印上去

光刻的思路像刷油漆时贴的遮挡胶带:先用一层光刻胶把要保留的地方盖住,再把露在外面的铬溶掉。

  • 涂胶:把光刻胶滴在基板中央,高速旋转甩成一层薄而均匀的膜。
  • 前烘:加热赶走胶里的溶剂,让胶膜定型。
  • 曝光:紫外光透过掩模照到胶上。掩模就是码盘图形的“底片”。
  • 显影:常用的正性胶被光照过的部分会溶进显影液,下面的铬露出来。
  • 蚀刻:蚀刻液溶掉露出来的铬,被胶盖住的铬留下,成为刻线。
  • 去胶:剥掉剩下的胶,铬线完整露出。

刻线最终有多宽,由曝光量、显影和蚀刻三步共同决定,哪一步偏了,线宽都会跟着偏。同一张掩模反复使用,一批又一批码盘的图形都出自同一张“底片”,这是光刻码盘一致性好的原因。

第三阶段:切外形、检测、出厂

激光切割以图形的中心为基准切出外圆和内孔。切偏了,刻线圈和内孔就不同心,装上轴后会产生偏心误差:读数半径 20 mm 时,5 μm 的偏心约对应 52″ 的角度误差。

磨边倒角把切口上的微裂纹和尖角磨掉,减少崩边,也让码盘更经得起装配时的受力。

检测通常包括线宽、偏心、光学密度和外观缺陷,可以用影像测量和自动光学检测(AOI)来做。最后再清洗一遍,用隔片分开,防潮、防静电包装出厂。

每道工序管什么

工序主要目的没做好的典型后果
清洗表面无油无颗粒膜层脱落、针孔
镀铬均匀致密的遮光膜遮光不足、针孔
涂胶、前烘均匀的胶膜线宽不一致
曝光、显影图形转到胶上线宽偏差、残胶
蚀刻、去胶图形转到铬上残铬、断线、线宽偏差
切割、磨边同心的外形,完好的边缘偏心、崩边、裂纹
检测、包装把关和保护不良品流出、运输划伤

小结

一片玻璃码盘的工序可以归成三段:做膜、做图形、做外形。光刻决定刻线的形状和线宽,切割决定刻线和内孔是否同心,清洗和洁净度则贯穿始终。后面的文章会把每道工序单独拿出来细讲。

延伸阅读:ENC7 编码器码盘生产厂家(中文主页) · 码盘技术文库


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