信号问题图鉴
症状:李萨如椭圆长轴沿坐标轴——A/B 幅值不等的排查

李萨如图成长轴沿坐标轴的椭圆,说明 A、B 幅值不等,相对差 δ 产生每周期两次、约 δ/2 rad 的细分误差(2048 线 2% 约 1″)。本文分析码盘侧与装配侧的来源,给出由两轴外廓算 δ 的方法,以及交换通道、径向移动、侧倾微调的分离试验。
李萨如图是一个椭圆,长轴和短轴正好沿着 A、B 坐标轴,没有倾斜:两路相位关系正常,只是一路幅值比另一路小。电路增益不一致是常见原因,但码盘和装配同样能造成这个现象,而且换一套电路也消除不了。本文先给出 δ 的读法和误差换算,再按码盘侧、装配侧梳理来源,最后用几个简单动作把它们分开。

误差有多大,δ 怎么读
设 A = a·cosθ、B = b·sinθ,幅值相对差 δ = 1 − b/a。atan2 的误差每个信号周期两次,峰值精确为 arcsin((a − b)/(a + b)),小量时约 δ/2 rad。δ = 2% 时峰值 0.0101 rad,2048 线约 1.0″;δ = 20% 时为 6.38°,比 δ/2 的 5.73° 大约 11%。
从示波器上读 δ,用两轴方向的外廓而不是椭圆的长短轴:
a = (X_max − X_min)/2,b = (Y_max − Y_min)/2,δ = 1 − b/a
这样即使同时存在直流偏置和相位误差也能读准,因为 A 的最大值总是 a,与相位无关;而椭圆一旦倾斜,长短轴之比就混进了相位误差。
允许的 δ 与线数有关。按幅值差单项分配 1″ 计:2048 线约 2.0%,5000 线约 4.8%,10000 线约 9.7%。同样的角秒预算,线数越多,对两路幅值的一致性要求反而越宽。
码盘侧来源
码盘上的刻线对两路是共用的,码盘要让两路幅值不同,前提是两路看到的不是同一块图形。
- 两相检测场落在码道不同径向位置。有的读数头把 A、B 检测场沿径向上下分行。码道沿径向若不均匀,两行的调制度就不同:例如外侧占空比 0.45、内侧 0.50,基波按 sin(πD) 只差约 1.2%;铬线光学密度 OD 2 与 OD 3 之间,漏光由 1% 变为 0.1%,调制度约差 0.9%。码道两端的刻线端部被光刻圆化、变窄,靠边的一行也会吃亏。
- 局部 OD 或线宽差。A、B 沿切向分开时,两场在同一时刻看到的是码盘上相隔几个周期的两块区域,局部膜厚或线宽差异会让 δ 随转角变化,而不是一个恒定值。
这些量一般只有 1% 量级,单独出现时多数在预算内;δ 达到百分之几以上,更多要找装配和读数头本身。
装配侧与读数头侧来源
径向偏移使一行越出码道。示例(假设):两行各高 0.5 mm、间隔 0.1 mm,码道宽 1.3 mm,单侧裕量 0.1 mm。读数头径向偏移 150 μm 时,A 行上缘越出码道 50 μm,幅值少 10%,δ = 10%,2048 线细分误差峰值约 5.3″。δ 随偏移的变化是“平底加陡升”:在 ±0.1 mm 内为零,超出后每 10 μm 增加 2%(见图2)。叠加偏心时,δ 每转变化一次。
侧倾使两行间隙不同。读数头绕切向轴侧倾 γ,两行中心相距 Δy 时间隙差为 Δy·γ,δ ≈ |S|·Δy·γ,S 为幅值—间隙曲线的相对斜率。Δy = 0.6 mm、γ = 5 mrad 时间隙差 3 μm:10000 线、名义间隙 25 μm(S 约 −0.84%/μm)时 δ ≈ 2.5%,5000 线、150 μm 时约 1.1%。
照明与探测器。光斑在两行上的照度不同,是读数头内部常见的来源。高斯光斑 σ = 1 mm、两行中心在 ±0.3 mm,光斑中心偏 0.1 mm 时,两行照度比约 1.06,δ 约 6%。它随读数头整体移动,径向移动读数头不改变 δ。
电路增益。两路放大器增益不一致,与码盘无关,但必须先排除。

分离试验
- 交换通道:把读数头的 A、B 输出对调接入细分电路(或示波器两个通道对调)。小的一路跟着通道走,是电路增益;跟着信号走,是光学、码盘或装配。
- 径向移动:用垫片或长孔把读数头沿径向移动若干档,记录 δ。出现平底再陡升是码道越界,平底宽度约为两倍单侧裕量;缓慢线性变化指向码道径向不均;基本不变则是读数头内部(照明、探测器)。
- 转整圈:按 Z 分段看 δ。恒定是静态原因;每转变化一次是偏心叠加越界;只在某些角度变化是局部膜层或线宽问题。
- 侧倾微调:在读数头一侧加薄垫片,δ 随之线性变化,说明两行间隙不同,应修正安装面平行度。
- 换盘对比:条件允许时换一片同批或基准码盘,δ 跟着码盘变,就回到码盘的径向均匀性和线宽一致性上查。
图3 汇总了五类来源在这几个动作下的特征响应。只有 A、B 沿径向分行的读数头才会出现越界和侧倾两类问题;A、B 交错排列在同一行时,这两类基本不存在。

工程要点
- δ 用 X、Y 两轴外廓计算:δ = 1 − (Y_max − Y_min)/(X_max − X_min),不受偏置和相位误差干扰。
- 细分误差峰值约 δ/2,精确为 arcsin((a − b)/(a + b));2048 线下 2% 约 1″。
- 分行结构的码道宽度要按“两行总高 + 2 × (径向安装公差 + 偏心)”设计,否则越界会直接表现为幅值不等。
- 读数头安装面的侧倾要按 |S|·Δy·γ 校核,细节距、小间隙时更严。
- 码盘侧的线宽、OD 径向均匀性影响一般在 1% 量级,但会叠加到其他来源上,来料检验应在码道两侧各测一点。
- 先交换通道排除电路,再做径向移动和侧倾试验,顺序不要颠倒。
小结
长轴沿坐标轴的椭圆对应 A、B 幅值不等,误差每周期两次、约 δ/2。码盘侧来源是两相检测场看到的码道区域不一致,量级通常较小;装配侧的径向越界和侧倾在分行结构上影响更大。用两轴外廓读准 δ,再按交换通道、径向移动、转整圈、侧倾微调的顺序做试验,就能把电路、读数头、装配和码盘的贡献分开。
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