信号问题图鉴

症状:Z 信号幅值远低于 A/B——零位窄缝的衍射与窗口失配

症状:Z 信号幅值远低于 A/B——零位窄缝的衍射与窗口失配

Z 信号偏低,首先是面积:单缝光量约为 40 周期增量窗的八分之一;其次是衍射:a = 20 μm、g = 0.5 mm 时 N_F ≈ 0.9,窗口只收到约 70%。本文推导这两项与窗口失配,给出调间隙、多缝码型、加宽窗口和提高增益的判据。

示波器上 A、B 有 1 Vpp,Z 脉冲却只有一百多毫伏,换了几片码盘情况差不多,间隙稍大时 Z 还会时有时无。零位信号偏低,很多时候是设计上就注定的:零位道只有一条或几条缝,而增量道的检测窗里有几十个周期;窄缝在间隙中衍射展宽,又会让窗口少收一部分光。本文把这两项算清楚,再讨论零位窗与缝宽失配、径向错位等装配与码盘因素,最后给出几种改法各自的适用条件。Z 丢失与多 Z 的概率问题见本系列零位裕度一篇。

缝宽 20 μm 的零位单缝在不同间隙下的菲涅耳衍射光强:间隙增大时光斑展宽、峰值下降,与缝同宽的零位窗只收到几何值的一部分;右侧为收光比例随菲涅耳数的变化(平面波、单色计算)
图1 缝宽 20 μm 的零位单缝在不同间隙下的菲涅耳衍射光强:间隙增大时光斑展宽、峰值下降,与缝同宽的零位窗只收到几何值的一部分;右侧为收光比例随菲涅耳数的变化(平面波、单色计算)

第一项:透光面积

增量道的检测窗长 L、高 h,内含 L/p 个周期。码盘与指示光栅都是 50% 占空比时,单相光通量在 0 到 0.5·L·h·I₀ 之间按三角波变化,基波幅值为

A_inc = (8/π²)·0.25·L·h·I₀ ≈ 0.20·L·h·I₀

零位单缝宽 a、与窗口同高时,几何峰值为 Z_peak = a·h·I₀。两者之比

Z_peak / A_inc ≈ a / (0.20·L)

算例:p = 20 μm,检测窗 40 个周期(L = 0.8 mm),a = 20 μm,比值约 0.12,即零位只有单相增量幅值的八分之一左右;若增量用 A 与 A− 差分、零位为单端,还要再减半。这一项与码盘质量无关,读数头必须在零位通道上补回相应的增益,或者用多缝码型把透光面积做大(K 条缝约为 K 倍,码型设计见本文库零位标记图形一篇)。

第二项:窄缝衍射

平行光照明下,宽 a 的缝在距离 g 处的光强为菲涅耳积分

I(x) = ½·{[C(v₂) − C(v₁)]² + [S(v₂) − S(v₁)]²},v₁,₂ = √(2/(λg))·(∓a/2 − x)

C、S 为菲涅耳积分函数,λ 为波长。图样的形状只由菲涅耳数决定:

N_F = a² / (λg)

N_F 大时接近几何阴影;N_F 降到 1 左右,缝的像已明显展宽,峰值下降。定义零位窗收到的光与几何值之比为 η。缝宽 a = 20 μm、λ = 0.88 μm 时:

间隙 gN_Fη(w = a)η(w = 1.5a)η(w = 2a)零位脉冲半高宽(w = a)
0.1 mm4.50.880.950.9721 μm
0.2 mm2.30.810.920.9422 μm
0.5 mm0.910.700.840.8824 μm
1.0 mm0.450.430.600.7341 μm

g = 0.5 mm 时窗口只收到约 70%;若 LED 在测量方向上的照明角宽为 20 mrad,再叠加约 10 μm 的几何模糊,降到约 68%。

容易被忽略的是:增量道是周期结构,有泰伯自成像,在 p²/λ 附近会形成反相的自像,幅值回升;单缝没有周期性,只会随间隙单调展宽(见图3)。所以“增量道在这个间隙下幅值很好”并不能推出零位也没问题,零位要按自己的 N_F 单独核算。两项合起来,上例 g = 0.5 mm 时 Z/A 约为 0.12 × 0.70 ≈ 0.086。

零位信号是衍射光斑与零位窗的相关:左为窗口与缝同宽时不同间隙的波形,右为 g = 500 μm 时不同窗口宽度的波形(平面波单色计算)
图2 零位信号是衍射光斑与零位窗的相关:左为窗口与缝同宽时不同间隙的波形,右为 g = 500 μm 时不同窗口宽度的波形(平面波单色计算)

第三项:窗口与缝的失配

宽度失配。 几何上零位信号是两个矩形的相关,为梯形:峰值 min(a, w)·h·I₀,平顶宽 |w − a|,底宽 a + w。w 小于 a 时峰值按 w/a 损失,g = 0.5 mm、w = 0.5a 时只剩约 0.41。w 大于 a 时峰值几何上不变,还能多收衍射到缝外的光(w = 2a 时 η 从 0.70 升到 0.88),代价是脉冲变宽、顶部变平,零位门控所需的宽度和边沿陡度要重新核对(见图2右)。

径向错位。 零位缝的径向长度与窗口高度相同时,偏心或读数头径向安装偏差 Δr 会直接按 1 − |Δr|/h 减少重叠,h = 0.5 mm、Δr = 50 μm 即降 10%。应让两者之一比另一个长出 2 × (偏心公差 + 安装公差)。

缝宽偏差。 增量道线宽在 50% 附近对幅值是二阶影响,零位缝宽却是一阶:a 偏 ±1 μm(20 μm 缝),几何峰值就偏 ±5%,N_F 还按 a² 变化。零位缝宽应单独给出公差并在来料时测量。

间隙增大时,增量道基波在 p²/λ 附近因自成像回升,零位单缝收光只单调下降;照明角宽使两者都进一步衰减(示例计算)
图3 间隙增大时,增量道基波在 p²/λ 附近因自成像回升,零位单缝收光只单调下降;照明角宽使两者都进一步衰减(示例计算)

排查步骤与改法判据

  1. 先算设计值。 按面积比 × η(N_F) 算出 Z/A 的期望值,与实测比较。两者相符,问题在设计层面,不必怀疑个体码盘。
  2. 扫间隙。 在名义间隙 ±50% 范围内记录 Z/A。Z 比 A 下降得快,说明工作在 N_F 偏小的区段。
  3. 看脉冲形状。 半高宽明显大于缝宽且峰低,是衍射或光源模糊;顶部平而宽,是窗口宽于缝;又窄又低,是窗口偏窄或缝被蚀刻得偏窄。
  4. 径向扫读数头。 沿径向移动 ±0.1 mm,记录零位峰值的平台宽度与中心,判断径向余量。
  5. 测码盘零位缝宽。 用显微镜量实际缝宽,与图纸比较。

改法按条件选择:

  • 减小间隙:使零位缝 N_F ≥ 1.5 左右,a = 20 μm 时 g ≤ a²/(1.5λ) ≈ 0.3 mm,同时核对增量道在新间隙下的幅值和谐波。
  • 加宽缝或改多缝码型:缝宽取约等于节距,或用 K 条缝的码型,光量约增 K 倍,主峰宽度仍约一个缝宽。
  • 加宽零位窗:w 取 1.5a–2a 可补回约 14–18 个百分点(g = 0.5 mm 时),前提是门控允许脉冲变宽。
  • 提高零位增益:最直接,但噪声和旁瓣同比放大,按零位裕度重新核算阈值。

工程要点

  • 零位单缝的几何光量约为 a/(0.2·L) 倍单相增量幅值,40 周期窗口、缝宽等于节距时约八分之一,属于设计常数。
  • 零位衍射看 N_F = a²/(λg):a = 20 μm、g = 0.5 mm 时 N_F ≈ 0.9,窗口只收到约 70%。
  • 增量道有泰伯自成像,零位单缝没有,不能用增量幅值推断零位幅值。
  • 窗口窄于缝按 w/a 掉幅,宽于缝能多收衍射光但脉冲变宽,需按门控要求折中。
  • 零位缝宽偏差对幅值是一阶影响,±1 μm 约 ±5%,应单列公差。
  • 改法优先级:先核对 N_F 与间隙,再考虑多缝码型和窗口宽度,最后才提高增益。

小结

Z 信号远低于 A/B,通常是面积和衍射两项相乘的结果:单缝的透光面积只有增量窗的几分之一,窄缝在间隙中又按菲涅耳数展宽,窗口只收到一部分光。再加上窗口与缝的宽度、径向失配和缝宽偏差,就能完整解释实测值。先算设计期望、再扫间隙看脉冲形状,就能分清是设计、装配还是码盘的问题,并据此选择减小间隙、多缝码型、加宽窗口或提高增益。

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