碼盤製造製程

一片玻璃碼盤的誕生:從玻璃到成品

一片玻璃碼盤的誕生:從玻璃到成品

一片玻璃碼盤要經過清洗、鍍鉻、塗膠、曝光、顯影、蝕刻、去膠、切割、磨邊、檢測、包裝等十幾道工序。本文把整條流程走一遍,說清楚每一步解決什麼問題,做不好會給碼盤留下什麼隱患。

拿到一片玻璃碼盤,看上去只是一片薄玻璃上印了一圈黑線。可這一圈線可能有幾千條,每條只有幾十微米甚至幾微米寬,還要邊緣整齊、遮光徹底、和中心孔同心。這樣的東西不是“印”一下就成的,而是十幾道工序一步一步做出來的。

玻璃碼盤的 13 道工序依次點亮,右側截面同步顯示每一步之後基板上多了什麼、少了什麼
圖1 玻璃碼盤的 13 道工序依次點亮,右側截面同步顯示每一步之後基板上多了什麼、少了什麼

三個階段:做膜、做圖形、做外形

把整條流程拆開看,其實只有三件事(見圖1):

  1. 做膜:把玻璃洗乾淨,鍍上一層鉻。
  2. 做圖形:用微影把刻線“影印”到鉻膜上,多餘的鉻溶掉。
  3. 做外形並出廠:切出外圓和內孔,磨邊,檢測,清洗,包裝。

下面按這個順序走一遍。

第一階段:乾淨的玻璃加一層鉻

清洗是第一步,也是最容易被小看的一步。玻璃表面哪怕留一點油膜或一個微小顆粒,鉻膜在那裡就附著不牢,或者留下一個針孔。

鍍鉻在真空裡進行,常用濺射或蒸鍍。鉻膜厚度一般在 0.1 μm 左右,只有頭髮絲直徑的幾百分之一,但已經能把光擋得很徹底。碼盤上“黑”的部分,就是這層鉻。

第二階段:用微影把圖形影印上去

微影的思路像刷油漆時貼的遮擋膠帶:先用一層光阻把要保留的地方蓋住,再把露在外面的鉻溶掉。

  • 塗膠:把光阻滴在基板中央,高速旋轉甩成一層薄而均勻的膜。
  • 前烘:加熱趕走膠裡的溶劑,讓膠膜定型。
  • 曝光:紫外光透過光罩照到膠上。光罩就是碼盤圖形的“底片”。
  • 顯影:常用的正性膠被光照過的部分會溶進顯影液,下面的鉻露出來。
  • 蝕刻:蝕刻液溶掉露出來的鉻,被膠蓋住的鉻留下,成為刻線。
  • 去膠:剝掉剩下的膠,鉻線完整露出。

刻線最終有多寬,由曝光量、顯影和蝕刻三步共同決定,哪一步偏了,線寬都會跟著偏。同一張光罩反覆使用,一批又一批碼盤的圖形都出自同一張“底片”,這是微影碼盤一致性好的原因。

第三階段:切外形、檢測、出廠

雷射切割以圖形的中心為基準切出外圓和內孔。切偏了,刻線圈和內孔就不同心,裝上軸後會產生偏心誤差:讀數半徑 20 mm 時,5 μm 的偏心約對應 52″ 的角度誤差。

磨邊倒角把切口上的微裂紋和尖角磨掉,減少崩邊,也讓碼盤更經得起裝配時的受力。

檢測通常包括線寬、偏心、光學密度和外觀缺陷,可以用影像測量和自動光學檢測(AOI)來做。最後再清洗一遍,用隔片分開,防潮、防靜電包裝出廠。

每道工序管什麼

工序主要目的沒做好的典型後果
清洗表面無油無顆粒膜層脫落、針孔
鍍鉻均勻緻密的遮光膜遮光不足、針孔
塗膠、前烘均勻的膠膜線寬不一致
曝光、顯影圖形轉到膠上線寬偏差、殘膠
蝕刻、去膠圖形轉到鉻上殘鉻、斷線、線寬偏差
切割、磨邊同心的外形,完好的邊緣偏心、崩邊、裂紋
檢測、包裝把關和保護不良品流出、運輸劃傷

小結

一片玻璃碼盤的工序可以歸成三段:做膜、做圖形、做外形。微影決定刻線的形狀和線寬,切割決定刻線和內孔是否同心,清洗和潔淨度則貫穿始終。後面的文章會把每道工序單獨拿出來細講。

延伸閱讀:ENC7 編碼器碼盤生產廠家(中文首頁) · 碼盤技術文庫


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