訊號問題圖鑑
症狀:Z 訊號幅值遠低於 A/B——零位窄縫的衍射與視窗失配

Z 訊號偏低,首先是面積:單縫光量約為 40 週期增量窗的八分之一;其次是衍射:a = 20 μm、g = 0.5 mm 時 N_F ≈ 0.9,視窗只收到約 70%。本文推導這兩項與視窗失配,給出調間隙、多縫碼型、加寬視窗和提高增益的判據。
示波器上 A、B 有 1 Vpp,Z 脈衝卻只有一百多毫伏,換了幾片碼盤情況差不多,間隙稍大時 Z 還會時有時無。零位訊號偏低,很多時候是設計上就註定的:零位道只有一條或幾條縫,而增量道的檢測窗裡有幾十個週期;窄縫在間隙中衍射展寬,又會讓視窗少收一部分光。本文把這兩項算清楚,再討論零位窗與縫寬失配、徑向錯位等裝配與碼盤因素,最後給出幾種改法各自的適用條件。Z 丟失與多 Z 的機率問題見本系列零位裕度一篇。

第一項:透光面積
增量道的檢測窗長 L、高 h,內含 L/p 個週期。碼盤與指示光柵都是 50% 佔空比時,單相光通量在 0 到 0.5·L·h·I₀ 之間按三角波變化,基波幅值為
A_inc = (8/π²)·0.25·L·h·I₀ ≈ 0.20·L·h·I₀
零位單縫寬 a、與視窗同高時,幾何峰值為 Z_peak = a·h·I₀。兩者之比
Z_peak / A_inc ≈ a / (0.20·L)
算例:p = 20 μm,檢測窗 40 個週期(L = 0.8 mm),a = 20 μm,比值約 0.12,即零位只有單相增量幅值的八分之一左右;若增量用 A 與 A− 差分、零位為單端,還要再減半。這一項與碼盤質量無關,讀數頭必須在零位通道上補回相應的增益,或者用多縫碼型把透光面積做大(K 條縫約為 K 倍,碼型設計見本文庫零位標記圖形一篇)。
第二項:窄縫衍射
平行光照明下,寬 a 的縫在距離 g 處的光強為菲涅耳積分
I(x) = ½·{[C(v₂) − C(v₁)]² + [S(v₂) − S(v₁)]²},v₁,₂ = √(2/(λg))·(∓a/2 − x)
C、S 為菲涅耳積分函式,λ 為波長。圖樣的形狀只由菲涅耳數決定:
N_F = a² / (λg)
N_F 大時接近幾何陰影;N_F 降到 1 左右,縫的像已明顯展寬,峰值下降。定義零位窗收到的光與幾何值之比為 η。縫寬 a = 20 μm、λ = 0.88 μm 時:
| 間隙 g | N_F | η(w = a) | η(w = 1.5a) | η(w = 2a) | 零位脈衝半高寬(w = a) |
|---|---|---|---|---|---|
| 0.1 mm | 4.5 | 0.88 | 0.95 | 0.97 | 21 μm |
| 0.2 mm | 2.3 | 0.81 | 0.92 | 0.94 | 22 μm |
| 0.5 mm | 0.91 | 0.70 | 0.84 | 0.88 | 24 μm |
| 1.0 mm | 0.45 | 0.43 | 0.60 | 0.73 | 41 μm |
g = 0.5 mm 時視窗只收到約 70%;若 LED 在測量方向上的照明角寬為 20 mrad,再疊加約 10 μm 的幾何模糊,降到約 68%。
容易被忽略的是:增量道是週期結構,有泰伯自成像,在 p²/λ 附近會形成反相的自像,幅值回升;單縫沒有週期性,只會隨間隙單調展寬(見圖3)。所以“增量道在這個間隙下幅值很好”並不能推出零位也沒問題,零位要按自己的 N_F 單獨核算。兩項合起來,上例 g = 0.5 mm 時 Z/A 約為 0.12 × 0.70 ≈ 0.086。

第三項:視窗與縫的失配
寬度失配。 幾何上零位訊號是兩個矩形的相關,為梯形:峰值 min(a, w)·h·I₀,平頂寬 |w − a|,底寬 a + w。w 小於 a 時峰值按 w/a 損失,g = 0.5 mm、w = 0.5a 時只剩約 0.41。w 大於 a 時峰值幾何上不變,還能多收衍射到縫外的光(w = 2a 時 η 從 0.70 升到 0.88),代價是脈衝變寬、頂部變平,零位門控所需的寬度和邊沿陡度要重新核對(見圖2右)。
徑向錯位。 零位縫的徑向長度與視窗高度相同時,偏心或讀數頭徑向安裝偏差 Δr 會直接按 1 − |Δr|/h 減少重疊,h = 0.5 mm、Δr = 50 μm 即降 10%。應讓兩者之一比另一個長出 2 × (偏心公差 + 安裝公差)。
縫寬偏差。 增量道線寬在 50% 附近對幅值是二階影響,零位縫寬卻是一階:a 偏 ±1 μm(20 μm 縫),幾何峰值就偏 ±5%,N_F 還按 a² 變化。零位縫寬應單獨給出公差並在來料時測量。

排查步驟與改法判據
- 先算設計值。 按面積比 × η(N_F) 算出 Z/A 的期望值,與實測比較。兩者相符,問題在設計層面,不必懷疑個體碼盤。
- 掃間隙。 在名義間隙 ±50% 範圍內記錄 Z/A。Z 比 A 下降得快,說明工作在 N_F 偏小的區段。
- 看脈衝形狀。 半高寬明顯大於縫寬且峰低,是衍射或光源模糊;頂部平而寬,是視窗寬於縫;又窄又低,是視窗偏窄或縫被蝕刻得偏窄。
- 徑向掃讀數頭。 沿徑向移動 ±0.1 mm,記錄零位峰值的平臺寬度與中心,判斷徑向餘量。
- 測碼盤零位縫寬。 用顯微鏡量實際縫寬,與圖紙比較。
改法按條件選擇:
- 減小間隙:使零位縫 N_F ≥ 1.5 左右,a = 20 μm 時 g ≤ a²/(1.5λ) ≈ 0.3 mm,同時核對增量道在新間隙下的幅值和諧波。
- 加寬縫或改多縫碼型:縫寬取約等於節距,或用 K 條縫的碼型,光量約增 K 倍,主峰寬度仍約一個縫寬。
- 加寬零位窗:w 取 1.5a–2a 可補回約 14–18 個百分點(g = 0.5 mm 時),前提是門控允許脈衝變寬。
- 提高零位增益:最直接,但噪聲和旁瓣同比放大,按零位裕度重新核算閾值。
工程要點
- 零位單縫的幾何光量約為 a/(0.2·L) 倍單相增量幅值,40 週期視窗、縫寬等於節距時約八分之一,屬於設計常數。
- 零位衍射看 N_F = a²/(λg):a = 20 μm、g = 0.5 mm 時 N_F ≈ 0.9,視窗只收到約 70%。
- 增量道有泰伯自成像,零位單縫沒有,不能用增量幅值推斷零位幅值。
- 視窗窄於縫按 w/a 掉幅,寬於縫能多收衍射光但脈衝變寬,需按門控要求折中。
- 零位縫寬偏差對幅值是一階影響,±1 μm 約 ±5%,應單列公差。
- 改法優先順序:先核對 N_F 與間隙,再考慮多縫碼型和視窗寬度,最後才提高增益。
小結
Z 訊號遠低於 A/B,通常是面積和衍射兩項相乘的結果:單縫的透光面積只有增量窗的幾分之一,窄縫在間隙中又按菲涅耳數展寬,視窗只收到一部分光。再加上視窗與縫的寬度、徑向失配和縫寬偏差,就能完整解釋實測值。先算設計期望、再掃間隙看脈衝形狀,就能分清是設計、裝配還是碼盤的問題,並據此選擇減小間隙、多縫碼型、加寬視窗或提高增益。
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