玻璃與基材科學

玻璃的光學不均勻性:條紋與折射率波動對相位式讀數的影響

玻璃的光學不均勻性:條紋與折射率波動對相位式讀數的影響

玻璃折射率起伏 Δn 使透射光產生光程差 OPD = Δn·t。Δn = 10⁻⁵、厚 1–2 mm 時僅 10–20 nm,對振幅型讀數可忽略;對衍射干涉式讀數,兩束光穿過不同位置產生相位差,最壞約 1–2″(示例)。本文給出均勻性要求的推算。

玻璃的“透明度”和“均勻性”是兩回事:一塊完全不吸光的玻璃,內部折射率仍可能有 10⁻⁵ 甚至更大的起伏,來源是熔制時成分分佈不勻(成條紋狀)、退火溫度場不均和應力。傳統認識是“這隻影響成像光學,碼盤用不著管”。對遮光型圖形這基本成立,但一旦讀數方式依賴光的相位,情況就不同了。本文先算光程差和波前畸變,再分別看振幅型、衍射干涉型讀數受到什麼影響,最後由角度誤差預算反推均勻性要求。

平面波穿過帶條紋的玻璃後波前被畸變(放大 25 倍顯示):Δn 從 0 增到 1×10⁻⁵(峰谷),再把厚度從 1 mm 增到 2 mm,最後 Δn 增到 2×10⁻⁵;右圖為光程差沿橫向的分佈(條紋形狀為示例)
圖1 平面波穿過帶條紋的玻璃後波前被畸變(放大 25 倍顯示):Δn 從 0 增到 1×10⁻⁵(峰谷),再把厚度從 1 mm 增到 2 mm,最後 Δn 增到 2×10⁻⁵;右圖為光程差沿橫向的分佈(條紋形狀為示例)

模型:光程差與波前

設光沿厚度方向穿過厚度 t 的玻璃,折射率隨橫向位置 y 變化 n(y) = n₀ + Δn(y),則波前上各點的光程差和相位為

OPD(y) = Δn(y) · t,φ(y) = 2π · OPD(y) / λ

其中 Δn 取峰谷值,λ 為波長。Δn = 10⁻⁵、λ = 850 nm 時:

  • t = 1 mm:OPD = 10 nm,約 λ/85,相位峰谷 4.2°;
  • t = 2 mm:OPD = 20 nm,約 λ/43,相位峰谷 8.5°。

作為參照,λ/4 為 212 nm。波前整體平移對讀數沒有影響,起作用的只有它的橫向變化:波前斜率 dOPD/dy 使光線偏折,兩點之間的 OPD 差使相位不同(圖2)。

光程差隨折射率起伏 Δn 與厚度的變化;紅點為 Δn = 1×10⁻⁵ 時 1 mm 與 2 mm 玻璃
圖2 光程差隨折射率起伏 Δn 與厚度的變化;紅點為 Δn = 1×10⁻⁵ 時 1 mm 與 2 mm 玻璃

振幅型讀數:偏折很小

條紋按餘弦起伏,週期 Λ_s,幅值為 Δn/2,則光線偏折角的最大值為 πΔn·t/Λ_s。取 Λ_s = 0.1 mm、t = 1 mm、Δn = 10⁻⁵:偏折 3.1×10⁻⁴ rad(約 65″)。圖形在入射面、玻璃出射面到指示光柵的間隙 g = 0.1 mm,則像的位移 31 nm,只有 20 μm 柵距的 0.16%,折算到 r = 20 mm 約 0.3″;Λ_s = 1 mm 時只有 3 nm。亮暗對比不受影響,所以 10⁻⁵ 量級的 Δn 對振幅型讀數可以忽略。

衍射干涉式讀數:兩束光看到的玻璃不同

衍射式讀數靠 ±1 級光束重新疊加。柵距 p 的光柵在玻璃中的衍射角 sinθ_g = λ/(n·p),兩束光穿過厚度 t 後相距

s = 2t · tanθ_g

p = 20 μm、n = 1.51、λ = 0.85 μm 時 sinθ_g = 0.028,t = 1 mm 的 s = 56 μm,t = 2 mm 為 113 μm。兩束光穿過不同位置,相位差只取決於這兩處玻璃的差:

δφ = (2π/λ) · Δn · t · |sin(πs/Λ_s)|

最壞情形是條紋週期 Λ_s = 2s,此時 δφ = 2πΔn·t/λ(即上面的相位峰谷)。兩束光的相位差等效為光柵位移 x = δφ·p/(4π),折算角度 x/r。算例(Δn = 10⁻⁵,p = 20 μm,r = 20 mm,示例):

厚度最壞情形(Λ_s = 2s)Λ_s = 1 mmΛ_s = 10 mm
1 mm4.2°,1.2″0.75°,0.21″0.07°,0.02″
2 mm8.5°,2.4″2.9°,0.84″0.30°,0.09″

條紋與兩束光間距相當時影響最大;條紋很寬時兩束光落在同一處,誤差迅速消失。條紋隨轉動掃過光路,誤差不是簡單的諧波,而是隨玻璃內的分佈起伏(圖3左)。同時,波前相位在光斑內的起伏使干涉對比度下降:相位 rms 0.1 rad 時只下降約 0.5%,比相位誤差本身更次要。另外,相位光柵槽深對應的相位 2π(n−1)d/λ 只隨 n 的相對變化 Δn/(n−1) 約 2×10⁻⁵ 改變,對零級效率幾乎沒有影響。

左:Δn = 10⁻⁵ 時,兩束光的相位差隨條紋週期的變化(虛線為 Λ_s 小於 2s 時的上限);右:按角度誤差預算反推的 Δn 峰谷值上限(最壞情形,p = 20 μm,r = 20 mm)
圖3 左:Δn = 10⁻⁵ 時,兩束光的相位差隨條紋週期的變化(虛線為 Λ_s 小於 2s 時的上限);右:按角度誤差預算反推的 Δn 峰谷值上限(最壞情形,p = 20 μm,r = 20 mm)

均勻性要求怎麼定

由位移預算 x = e·r(e 為允許的角度誤差,弧度)和最壞情形 δφ = 2πΔn·t/λ,得

Δn_max = 2 · e · r · λ / (p · t)

e = 0.5″、r = 20 mm、p = 20 μm 時:t = 1 mm 要求 Δn ≤ 4.1×10⁻⁶,t = 2 mm 為 2.1×10⁻⁶;e 放寬到 1″ 則分別為 8.2×10⁻⁶ 和 4.1×10⁻⁶。上限與 e、r 成正比,與 p、t 成反比,柵距越小、玻璃越薄,要求越寬。光學材料的均勻性按 ISO 10110-4 分檔,高檔牌號能達到 10⁻⁶ 量級,普通浮法玻璃一般不保證這一指標。

工程要點

  • 振幅型讀數(遮光圖形 + 指示光柵)對 Δn 不敏感,一般無需單獨規定均勻性。
  • 衍射干涉式或相位式讀數用 Δn_max = 2·e·r·λ/(p·t) 倒推,並把厚度和柵距一起考慮。
  • 兩束光的間隔 s 與條紋週期相當時最敏感;條紋寬度在 0.1–0.5 mm 的細紋比大面積緩變更危險。
  • 選材時在規格里寫明均勻性分檔和檢驗方法(干涉儀測透射波前),不要只寫“光學級”。
  • 能薄就薄:誤差與 t 成正比,把 2 mm 減到 1 mm 就把要求放寬一倍。
  • 圖形設在出射面、光先穿過玻璃再衍射時,兩束光不在玻璃內分開,剪下誤差大幅減小,可作為結構選擇的依據。

小結

Δn = 10⁻⁵ 的玻璃,1–2 mm 厚只造成 10–20 nm 的光程差,對遮光型振幅讀數可以忽略。衍射干涉式讀數中,兩束光穿過不同位置,相位差按 2πΔn·t/λ 封頂,示例引數下最壞約 1–2″,反推出的均勻性要求在 10⁻⁶ 量級。是否需要特別規定均勻性,取決於讀數原理,而不是玻璃看起來是否透明。

延伸閱讀:ENC7 編碼器碼盤生產廠家(中文首頁) · 碼盤技術文庫


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